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    1.樣品前處理

    根據(jù)樣品導(dǎo)電性好壞確定是否需要噴金或噴鉑處理

    2.樣品定位

    通過E-Beam確定樣品的目標(biāo)位置

    3.蒸鍍保護層

    根據(jù)樣品成分選擇合適的材料在樣品的目標(biāo)區(qū)域蒸鍍保護層

    4.U-Cut

    將樣品的目標(biāo)區(qū)域四周刨掉,只留下U型目標(biāo)區(qū)域

    5.提取樣品

    U-Cut后的樣品通過Easylift提取到載具上

    6.樣品減薄

    根據(jù)具體測試需求對樣品進(jìn)行減薄

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