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FIB-TEM樣品制備技術(shù)

FIB-TEM樣品制備技術(shù)

李老師

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課程目錄

FIB-TEM樣品制備技術(shù)

課程介紹
講師介紹

課程大綱：

1.樣品前處理

根據(jù)樣品導(dǎo)電性好壞確定是否需要噴金或噴鉑處理

2.樣品定位

通過E-Beam確定樣品的目標(biāo)位置

3.蒸鍍保護層

根據(jù)樣品成分選擇合適的材料在樣品的目標(biāo)區(qū)域蒸鍍保護層

4.U-Cut

將樣品的目標(biāo)區(qū)域四周刨掉，只留下U型目標(biāo)區(qū)域

5.提取樣品

將U-Cut后的樣品通過Easylift提取到載具上

6.樣品減薄

根據(jù)具體測試需求對樣品進行減薄

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