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    顯微式激光測(cè)振儀(Micro System Analyzer)可用于MEMS領(lǐng)域的壓電片、三維慣導(dǎo)、壓力傳感器陣列等微小、復(fù)雜結(jié)構(gòu)的三維可視模態(tài)測(cè)試。

    這種非接觸式、可視化、高精度的測(cè)試方法,代替了傳統(tǒng)的電測(cè)法,幫助用戶清楚的觀察和測(cè)量一個(gè)結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)特性并準(zhǔn)確以視頻、圖片和數(shù)據(jù)的形式描述出來(lái),

    顯微式激光測(cè)振儀通過(guò)非接觸,數(shù)字顯微和目前測(cè)量動(dòng)態(tài)特性及振動(dòng)精度最高的 激光多普勒測(cè)振原理,快速,高效,精準(zhǔn)獲得壓電片的區(qū)域振 動(dòng)數(shù)據(jù),除了傳統(tǒng)二維數(shù)據(jù)的曲線描述和分析,

    還可以通過(guò)模 態(tài)動(dòng)圖方式更直觀表現(xiàn),解決傳統(tǒng)電測(cè)方法不可視,精度低, 沒(méi)有過(guò)程數(shù)據(jù)無(wú)法進(jìn)行研究等問(wèn)題。

    樣品要求

    1.樣品臺(tái)200mm?200mm,高度10cm以內(nèi);

    2.用于面外和面內(nèi)振動(dòng)測(cè)量,振幅分辨率達(dá)亞皮米級(jí);振幅0.5mm以內(nèi)都可測(cè)試;

    3激光光斑小于4μm,橫向分辨率極高;測(cè)試距離大,可達(dá)38mm;實(shí)時(shí)振動(dòng)測(cè)量,高達(dá) 25MHz 的大帶寬。

    項(xiàng)目案列

    傳感器振型三維分析圖

    常見問(wèn)題

    應(yīng)用領(lǐng)域包括?

    典型應(yīng)用領(lǐng)域包括:慣性傳感器,如加速度計(jì)和陀螺儀;微機(jī)電傳感器和致動(dòng)器 (MEMS) ;打印機(jī)噴墨頭;壓力傳感器薄膜;耳機(jī)、微型鏡頭等。

    尤其適用于MEMS領(lǐng)域的壓電片、三維慣導(dǎo)、壓力傳感器陣列等微小、復(fù)雜結(jié)構(gòu)的三維可視模態(tài)測(cè)試。

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