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    科普:橢偏儀如何工作?
    來源: 時間:2024-06-27 09:47:53 瀏覽:893次

    科普:橢偏儀如何工作?

     

    橢偏儀(Ellipsometer)是一種光學測量儀器,主要用于測量材料的光學參數(shù),如折射率、厚度、粗糙度等。

    工作原理:

    它的工作原理基于光的橢偏效應,即當光線通過介質(zhì)時,由于介質(zhì)對不同偏振方向的折射率不同,導致光線的偏振狀態(tài)發(fā)生改變;橢偏儀通過測量入射光和透射光的偏振狀態(tài),從而得到有關材料性質(zhì)的信息。

    組成:

    橢偏儀的基本構(gòu)成部分包括光源、樣品室、光學系統(tǒng)、檢測器等。

    光源通常采用激光器,因為激光具有單色性好、相干性高等特點,有利于提高測量精度;樣品室用于放置待測樣品;光學系統(tǒng)包括分束器、偏振片、補償器等,用于控制和調(diào)整光路;檢測器則用于檢測透射光的偏振狀態(tài),常用的有光電探測器、硅光電池等。

    工作過程:

    橢偏儀的工作過程如下:

    1. 光源發(fā)出的激光經(jīng)過分束器分為兩束,一束作為入射光,另一束作為參考光;入射光穿過樣品,參考光則直接透過參考片。

    2. 入射光和參考光分別經(jīng)過偏振片,只有與偏振片方向一致的光才能通過;這樣,入射光和參考光的偏振狀態(tài)就得到了限制。

    3. 經(jīng)過偏振片后的入射光和參考光分別到達補償器;補償器的目的是消除光源自身的偏振效應,確保入射光和參考光的偏振狀態(tài)一致。

    4. 補償后的入射光和參考光分別穿過樣品和參考片,此時,兩束光分別發(fā)生橢偏效應。

    5. 穿過樣品和參考片后的兩束光再次經(jīng)過偏振片,此時,偏振片對兩束光的偏振狀態(tài)進行了篩選,只有滿足偏振片方向的透射光才能通過。

    6. 最后,透射光分別到達檢測器,檢測器將透射光的強度轉(zhuǎn)化為電信號,經(jīng)處理后得到橢偏角等參數(shù)。

    通過上述過程,橢偏儀可以得到樣品的光學參數(shù);具體而言,橢偏角與樣品的折射率、厚度等因素有關;通過分析橢偏角,可以得到樣品的折射率、厚度、粗糙度等參數(shù);此外,橢偏儀還可以用于測量樣品的相位、雙折射等光學性質(zhì)。

    應用領域:

    橢偏儀在科研、工業(yè)等領域具有廣泛的應用。

    在材料科學研究中,橢偏儀可以用于研究新型材料的光學性質(zhì),為材料設計和應用提供依據(jù)。

    在半導體制造過程中,橢偏儀可用于監(jiān)測薄膜厚度,確保生產(chǎn)過程的精度。

    在生物醫(yī)學領域,橢偏儀可用于檢測生物組織的折射率,為疾病診斷提供信息。

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    12條評論
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    全部 3小時前 四川
    文字是人類用符號記錄表達信息以傳之久遠的方式和工具?,F(xiàn)代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產(chǎn)生書面文字,很多小語種,有語言但沒有文字。文字的不同體現(xiàn)了國家和民族的書面表達的方式和思維不同。文字使人類進入有歷史記錄的文明社會。
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