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掃描電鏡（SEM）測(cè)試樣品制備應(yīng)該注意哪些？

來(lái)源：測(cè)試GO 時(shí)間：2022-11-30 10:43:51 瀏覽：4987次

在掃描電鏡（SEM）測(cè)試前，樣品的制備是非常重要的環(huán)節(jié)。在我們制備樣品時(shí)，對(duì)于不同的樣品、以及形態(tài)和導(dǎo)電性能等差異，會(huì)用不同的方法制樣。本文就帶大家給大家分享一下在進(jìn)行制備SEM測(cè)試的樣品時(shí)應(yīng)該注意的有哪些？

掃描電鏡測(cè)試

1、SEM測(cè)試塊狀樣品的制備：

樣品制備對(duì)于金屬、巖礦或無(wú)機(jī)物，切割成要求的尺寸，粘在樣品臺(tái)上。如果樣品數(shù)量多，注意樣品尺寸最好一致。微區(qū)成分分析樣品表面應(yīng)該平臺(tái)或經(jīng)研磨拋光，可以保證檢測(cè)時(shí)幾何條件不變。對(duì)于SEM樣品的斷口面，要選擇起伏不大的部位，最好是分析點(diǎn)附近有小的平坦區(qū)。樣品表面和底面應(yīng)該平行。非導(dǎo)電或?qū)щ娦暂^差的材料，要先進(jìn)行鍍膜處理，在材料表面形成一層導(dǎo)電膜。以避免電荷積累，影響圖像質(zhì)量，并可防止試樣的熱損傷。

【注：塊體、片狀、薄膜尺寸小于1*1*0.5cm，需要標(biāo)注測(cè)試面】

2、SEM測(cè)試粉末樣品的制備：

（1）SEM微米級(jí)粉料：將粉樣撒在樣品臺(tái)的雙面膠上，用手指輕彈樣品臺(tái)四周，粉料悔=會(huì)均勻地向四周移動(dòng)，鋪平一層，側(cè)置樣品臺(tái)，把多余粉料抖掉；用紙邊輕刮、輕壓粉料面，使粉料與膠面貼實(shí)；用耳球從不同方向吹拂粉料。經(jīng)此過(guò)程，粉料已牢固、均勻地粘在雙面膠上。

（2）對(duì)于亞微米級(jí)或納米粉料進(jìn)行成分分析：利用壓片機(jī)壓成結(jié)實(shí)的薄片。把薄片用雙面膠粘在樣品臺(tái)上。

【注：粉末樣品大于10mg，不能測(cè)試線(xiàn)掃】

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