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四探針測(cè)試儀測(cè)量半導(dǎo)體材料電阻率

來(lái)源：晶格四探針時(shí)間：2022-10-26 17:48:34 瀏覽：3450次

1. 基本介紹

電阻率的測(cè)量是半導(dǎo)體材料常規(guī)參數(shù)測(cè)量項(xiàng)目之一。測(cè)量電阻率的方法很多，如三探針?lè)?、電?--電壓法、擴(kuò)展電阻法等。四探針?lè)▌t是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法，在半導(dǎo)體工藝中最為常用。其主要優(yōu)點(diǎn)在于設(shè)備簡(jiǎn)單，操作方便，精確度高，對(duì)樣品的幾何尺寸無(wú)嚴(yán)格要求。四探針?lè)ǔ擞脕?lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料的電阻率以外，在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中廣泛使用四探針?lè)▉?lái)測(cè)量擴(kuò)散層薄層電阻，以判斷擴(kuò)散層質(zhì)量是否符合設(shè)計(jì)要求。

2. 四探針發(fā)展歷史

1865 年首次提出四探針測(cè)試原理湯姆森；

1920 年第一次實(shí)際應(yīng)用，測(cè)量地球電阻率 Schlunberger ；

1954 年第一次用于半導(dǎo)體電阻率測(cè)試 Valdes；

1980 年代具有Mapping 技術(shù)的四點(diǎn)探針出現(xiàn)；

1999 年開(kāi)發(fā)出首臺(tái)微觀四點(diǎn)探針 Pertersen。

3. 四探針測(cè)試原理圖

四根等距探針豎直的排成一排，同時(shí)施加適當(dāng)?shù)膲毫κ蛊渑c被測(cè)樣品表面形成歐姆連接，用恒流源給兩個(gè)外探針通以小電流 I，精準(zhǔn)電壓表測(cè)量?jī)?nèi)側(cè)兩探針間電壓 V，根據(jù)相應(yīng)理論公式計(jì)算出樣品的薄膜電阻率。

4.四探針測(cè)試方法分類

最為常用的測(cè)試方法為直線（常規(guī)）四探針?lè)ê碗p電測(cè)四探針?lè)ā?/span>

ST2258C多功能數(shù)字式四探針測(cè)試儀(常規(guī)四探針?lè)ㄟx用)

ST2263雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀(雙電測(cè)法選用)

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