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X射線光電子能譜（X-ray photoelectron spectroscopy，XPS）是一種基于光電效應(yīng)的電子能譜，它是利用X射線光子激發(fā)出物質(zhì)表面原子的內(nèi)層電子，通過(guò)對(duì)這些電子進(jìn)行能量分析而獲得的一種能譜。這種能譜最初用來(lái)進(jìn)行化學(xué)分析，因此也叫做化學(xué)分析電子能譜（electron spectroscopy for chemical analysis，ESCA）。

XPS在材料、化學(xué)、物理等學(xué)科的研究中扮演著重要的角色，是現(xiàn)代測(cè)試分析中的重要一環(huán)。XPS用途廣泛，可用于元素的定性及價(jià)態(tài)分析、半定量分析、化合物的結(jié)構(gòu)分析、深度分布分析以及元素成像分析等方面。

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三、數(shù)據(jù)處理軟件及教程

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四、經(jīng)典文獻(xiàn)

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