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高分辨XRD（HRXRD）

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項目介紹

XRD是一種無損的研究材料結(jié)構(gòu)的方法，HRXRD適合單晶或者外延膜等取向非常好的材料結(jié)構(gòu)研究。

高分辨X射線衍射儀是半導(dǎo)體材料表征的標(biāo)準(zhǔn)裝備，常用于材料科學(xué)和納米技術(shù)、半導(dǎo)體材料和器件等的研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制。

儀器適用于各種薄膜樣品的測試應(yīng)用，尤其適合外延薄膜和單晶晶圓的結(jié)構(gòu)分析和表征。具體可以測試的內(nèi)容如下（不限于）：

1. 搖擺曲線分析（omega-2theta, rocking curve）

2. 倒易空間圖（Reciprocal Space Mapping）

3. 外延關(guān)系判定（Phi-scan）

4. 反射率(XRR)

5. 掠入射表面深度分析(GIXRD)

6. 透射X射線衍射

7. 殘余應(yīng)力(Residual stress)

8. 織構(gòu)分析(texture)

9. 粉末和塊材物相鑒定(Phase analysis)

10. 小角X射線衍射（Small angle XRD）

涉及樣品種類包括（不限于）半導(dǎo)體晶圓、單晶、薄膜、藥品、金屬、納米材料、有機(jī)材料、礦石等。

樣品要求

樣品尺寸要求：厚度小于3mm ，長寬1x1mm²以上，不同尺寸價格不同，長寬4x4mm²以上不需要加價。

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