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    動態(tài)二次離子質譜儀(D-SIMS)在材料分析中的用途

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    2023-12-14

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    2023-12-14

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    一文讀懂D-SIMS

    動態(tài)-二次離子質譜(D-SIMS)用氣體等離子源轟擊樣品,使樣品表面原子、分子或離子等濺射出來,用質量分析器接收濺射出的二次離子,通過分析其質荷比(m/z)獲得二次離子質譜。由于D-SIMS的離子源為高密度離子束(原子劑量10 12 ions/cm 2 ),對樣品的濺射作用大,故是一種破壞性分析。...

    2019-10-25

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